多晶硅还原炉体及钟罩干式清理系统
德高洁多晶硅还原炉体及钟罩干式清理系统使用时利用上下移动和旋转机构带动高压气体喷吹以及特殊旋转刷组合机构近距离对反应釜表面进行喷吹和接触式清扫达到清洗的目的。通过清洗旋转调速机构可满足各工况的要求。清洗的同时采用特殊除尘净化器一次性进行除尘净化。[查看详情]
自动化高压水多晶硅还原炉钟罩清洗系统
自动化高压水多晶硅还原炉钟罩清洗系统是德高洁独立自主研发，其工作原理是以水力自驱动三维自动旋转喷头，形成360°的网状喷射表面，完成钟罩内部表面的水力扫射，用专用清洗剂等为主要清洗液，用纯水(去离子水或叫脱盐水)漂洗，用高纯水冲洗，完成清洗过程。[查看详情]
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